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5650011.pdfはしがき73KbAdobe PDFView/Open

Title :PLAS法による a-Si:H/a-Si3N4:H 界面の動的性質の解明
Authors :仁田, 昌二
Issue Date :1994
Abstract :平成5年度-平成6年度年度科学研究費補助金 (一般研究(C) 課題番号05650011) 研究成果報告書
Type Local :研究報告書
URI :http://hdl.handle.net/20.500.12099/149
Appears in Collections:Grants-in-Aid for Scientific Research - Engineering