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タイトル :窒化ケイ素系硬質膜及び酸化ルテニウム系抵抗膜の合成と応用に関する研究
別言語のタイトル :Study on the Preparation and Application of Hard Films Based on Silicon Nitride and Thin Film Resistors Derived from Ruthenium Oxide
著者 :倉増, 敬三郎
作成日 :1997-9-3
収録種別 :博士論文
URI :http://hdl.handle.net/20.500.12099/1677
出現コレクション:工学 乙