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510205.pdf内容の要旨(Summary)182KbAdobe PDFView/Open

Title :窒素ラディカル・スパッタ法によるアモルファス窒化炭素薄膜の創製とその光伝導に関する研究
Title alternative :Preparation and photoconductivity of amorphous carbon nitride films made by a nitrogen radical sputter method
Authors :勝野, 高志
Issue Date :25-Mar-2003
Type Local :博士論文
Appears in Collections:Engineering A